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ASML工厂发生火灾,台积电:不担心影响EUV产能继续推进

2022-01-17 来源:快科技

本月初,全球最大的光刻机生产商ASML在德国的工厂发生火灾,引发半导体行业担心。台积电作为ASML光刻机的最大客户也回应了此事,他们表示不担心会对2022年生产有什么影响。


在日前的财报会上,台积电高层回应了ASML工厂火灾的问题,称没有理由担心这场火灾会对2022年的生产计划产生影响。


台积电强调,该公司的产能增长,包括EUV光刻在内的工艺都可以按计划完成,不担心ASML的履约能力。


目前台积电的7nm及以下工艺产能都需要EUV光刻机,根据财报透露的信息,在第四季度,台积电7nm制程芯片的出货量占到了总晶圆出货量的27%,而5nm制程芯片占比则为23%。


至于ASML,根据他们之前的信息,虽然评估是否影响今年的光刻机交货还有点早,但这次事件影响的主要是EUV光刻机生产,DUV光刻机不受影响。


EUV光刻机是生产7nm以下工艺的关键设备,ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商,每台售价1亿欧元,将近10亿人民币,去年交付了35台EUV光刻机,今年计划交付55台EUV光刻机,三星、台积电及Intel是主要的客户。


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