该文主要研究超声波电机的传动机理、数学模型、结构设计、驱动系统和精密伺服系统的理论和实践,为超声波电机的进一步研究和产业化奠定基础.该文主要内容和研究成果如下:系统地总结了国内外超声波电机的研究历史、发展现状和主要应用,研究了超声波电机的运行机理.研制了超声波电机专用、高抗干扰能力,高可靠性、两相正交、正弦超声波驱动电源,分别探讨了使用串联电感和并联电感实施负载阻抗匹配时,电机性能所受到的影响.研制了利用电机定子上压电陶瓷的孤极反馈来进行频率调整的新型频率跟踪控制器,实现了超声波电机速度的稳定性控制. 实现了超声波电机高精度位置检测,研制了基于DSP的超声波电机精密伺服控制系统,完成了采用驱动频率/相位的P、PI和自适应控制方案进行精密定位控制的理论探讨和实验研究,井进行了模糊控制的理论探讨.在理论研究的基础上,成功地研制了环形超声波电机及其精密定位控制系统.单元电机最大转矩1N. m,控制精度2.16′.