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微纳机电系统
微机电系统(MEMS) 和纳机电系统(NEMS) 是微米/ 纳米技术的重要组成部分。MEMS已在产业化道路上发展,NEMS 还处于基础研究阶段。分析了微/ 纳机电系统的发展特点,简要地介绍了典型的MEMS 和NEMS 器件及系统后,椭论了MEMS 和NEMS 发展中的几个问蹄以及它们的发展前景。
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