靶材利用率高于80%，上方自研G8.6代新型显示PVD装备顺利发货

5月7日，上方电子装备首台8.6代新型显示PVD装备，顺利完成发货。

      上方自主设计并开发的8.6代Array PVD装备，最大玻璃基板尺寸为2250mm×2600mm，采用旋转阴极镀膜技术，可实现薄膜沉积厚度非均匀性<5%，靶材利用率>80%。装备已获得国内技术专利11项，具有生产工艺先进、性能稳定、操作简单、维护保养成本低等优点。

      上方8.6代PVD装备的交付，将进一步推动装备国产化的进程。

浙江上方电子装备有限公司成立于2011年12月，是国家重点支持的高端电子装备企业，主要产品为真空镀膜装备及相关服务，广泛应用于太阳能、新型显示及集成电路等泛半导体领域。