GLOBALFOUNDIES与SVTC合作 加速MEMS量产

    GLOBALFOUNDRIES近日宣布，将与SVTC技术公司结成战略联盟，以加速进行微机电系统（MEMS）的量产制造。

    微机电系统（MEMS）是半导体市场成长最快的区块之一，MEMS应用广泛，从车用感应器、到喷墨打印机、到高阶智能型手机与游戏控制器都有MEMS的应用。然而，MEMS的制造过去主要局限于特定的晶圆制造厂，采用「单一制程、单一产品」的模式。为了让MEMS市场得以持续快速成长，GLOBALFOUNDRIES正采取积极策略，透过与CMOS流程类似的标准化模式，将MEMS从特定制造平台转移到量产平台。

    200mm晶圆事业部进阶副总裁兼GLOBALFOUNDRIES新加坡总经理Raj Kumar表示，该公司目前已有计划要增加基础建设与专业技术来支援在3E晶圆厂提供专属的MEMS生产线，目标是在2011年第三季前开始MEMS装置的量产。新兴硅晶圆科技商用服务供应商SVTC，将提供全面的开发设施，协助GLOBALFOUNDRIES使用全系列的先进CMOS与MEMS设备，为顾客开发硅晶圆解决方案。SVTC也将为GLOBALFOUNDRIES工程师提供MEMS技术研发支援及培养训练。

    GLOBALFOUNDRIES在MEMS方面的研发将先着重于三种应用︰加速计、陀螺仪及无线电射频微机电系统。加速计在手机与消费电子产品上提供进阶用户体验；陀螺仪提供个人导航的影像稳定与方向侦测能力；无线电射频微机电系统则支援手机的多频段操作，同时缩小手机体积并减少电力消耗。