X射线能谱仪(EDS)

1. 设备型号

Horiba 7021-H

2. 原理

EDS能谱仪，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、line scan、mapping分析。

3. 分析数据注意点

• 主要用于元素的定性分析；

• 能谱仪能够分析原子序数大于5的元素，波谱仪可以分析原子序数从4～92之间的所有元素；

• EDS的分析方式有点分析、线分析和面分析；点分析得到一点的所有元素；线分析每次对指定的一条线做一种元素分析，多次扫描得到所有元素的线分布；面分析对一个指定面内的所有元素分析，测得元素含量是测量面范围的平均值。

• EDS做微区分析时所激发的体积为10um3 左右；

• EDS常常与SEM结合使用，可对目标部位进行点、线、面形貌扫描和成分分析；

• 检测极限：0.1%，只能做半定量分析，精度一般在1%到5%，深度一般为1~5微米。

4. 应用领域及分析案例

（1）灯珠来料元素检测

（2）芯片结构分析

（3）支架结构分析

（4）锂电池材料元素分布