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英特尔推进面向未来节点的技术创新,在2025年后巩固制程领先性

2024-05-09 来源:EEWORLD

英特尔正在按计划实现其“四年五个制程节点”的目标,目前,Intel 7,采用EUV(极紫外光刻)技术的Intel 4和Intel 3均已实现大规模量产。正在顺利推进中的Intel 20A和Intel 18A两个节点,将继续采用EUV技术,并应用RibbonFET全环绕栅极晶体管和PowerVia背面供电技术,助力英特尔于2025年重夺制程领先性。


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在“四年五个制程节点”计划之后,英特尔将继续采用创新技术推进未来制程节点的开发和制造,以巩固制程领先性。High NA EUV技术是EUV技术的进一步发展,数值孔径(NA)是衡量收集和集中光线能力的指标。通过升级将掩膜上的电路图形反射到硅晶圆上的光学系统,High NA EUV光刻技术能够大幅提高分辨率,从而有助于晶体管的进一步微缩。


作为Intel 18A之后的下一个先进制程节点,Intel 14A将采用High NA EUV光刻技术。此外,英特尔还公布了Intel 3、Intel 18A和Intel 14A的数个演化版本,以帮助客户开发和交付符合其特定需求的产品。


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为了制造出特征尺寸更小的晶体管,在集成High NA EUV光刻技术的同时,英特尔也在同步开发新的晶体管结构,并改进工艺步骤,如通过PowerVia背面供电技术减少步骤、简化流程。


将研究成果转化为可量产、可应用的先进产品,是英特尔50多年来的卓越所在。英特尔将继续致力于通过创新技术推进摩尔定律,以推动AI和其它新兴技术的发展。


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