应用材料公司携业界最全套10.5代线生产设备展现行业领导力
2019-03-20
面向全球最大基板尺寸的全套高效、高产能显示面板生产设备
为生产高性能8K电视和即将投入市场的Gen 10.5代线生产的OLED电视面板提供新一代金属氧化物显示技术
应用材料公司发布显示行业龙头企业正使用其10.5代线全套生产设备生产更逼真、更鲜明、色彩更加丰富的大尺寸8K电视。10.5代线是全球最大尺寸玻璃基板(3370毫米x 2940毫米)的生产线,可高效利用几乎整块玻璃基板,每片基板最高可产出8块65英寸或6块75英寸电视面板。
“应用材料公司是京东方重要合作伙伴之一,10.5代线全套设备提升了大尺寸面板生产效率。”京东方科技集团股份有限公司(BOE)总裁、首席运营官刘晓东表示,“京东方一直致力于与产业合作伙伴共创共赢,双方的合作将为全球客户带来至臻品质的超高清显示面板,让消费者感受到震撼的视觉体验。”
“市场对大尺寸电视——包括8K电视和即将登场的OLED电视的需求正驱动着10.5代线的生产投资。”应用材料公司负责全球服务及显示产品与柔性技术事业群的高级副总裁Ali Salehpour表示,“应用材料公司是目前全球唯一一家将已被验证的物理气相沉淀(PVD)及化学气相沉淀(CVD)平台成功升级至10.5代线水平,并拥有独特差异化技术的公司。这些气相沉淀系统与在线电子束检视(EBR)系统相结合可帮助客户在生产绝大部分先进显示面板过程中达到最佳良品率。”
应用材料公司的10.5代线全套设备通过实现关键薄膜(例如金属氧化物)的优异沉积均匀度,生产出更小更快的薄膜晶体管(TFT),从而提高下一代显示面板的分辨率和性能来驱动高清晰度电视。该套设备包括两个用于薄膜晶体管(TFT)阵列制程的业界领先的高产物理沉积系统(PVD)——AKTPiVot系统,以及用于生产彩色滤光片的AKT-NAR3000 PVD系统,此外还包括业界唯一一款经过生产验证的等离子体增强化学气相沉积系统AKT-100K PECVD,该系统经过优化并适用于在10.5代线基板上沉积金属氧化物。应用材料公司的EBT 100K系统已在客户的Gen 10.5生产线上安装并生产使用。此外,独特的高精度在线电子束检视EBR 100K系统可进行非破坏性的在线检查和计量,进一步提高生产效率和良品率。
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