通路隔离以及信号至机壳的隔离都必须高于待测器件的电阻,从而避免测量到的是开关卡特性,而不是需要测量的器件特性。
吉时利707B和708B型半导体开关矩阵主机支持在半导体研究和过程控制监控环境中使用具有经过验证的低电流性能的吉时利开关卡。
吉时利7174A型矩阵卡[1]往往被视为行业标准,这种卡将低偏置电流、高隔离和高宽带结合在一起。它在每一个交叉点处都整合了隔离继电器[2],这样,矩阵的其余部分(该行和该列上的其它未使用的交叉点)就会与正在使用的通路隔离。这种配置可实现不超过100fA的偏置电流和10fA的典型性能(单个通路)。簧式继电器[3]可在建议的冷开关工作条件下提供1亿个周期的触头寿命。
虽然吉时利7072型[4]和7072-HV型矩阵卡[5]没有与吉时利7174A型矩阵卡相同的偏置电流和带宽指标,但是这些卡适合用于各种测试,特别是仅在几个测量终端上需要低电流灵敏度的测试。已有两行针对偏置电流不到1pA的低漏电测量进行了优化。吉时利7072-HV型矩阵卡上的这些行也支持高达1300VDC的信号,从而使其适用于击穿测量。列隔离器可以将这些行与卡中央的四个通用行隔离,这种卡专门用于不需要低电流灵敏度的测试,比如FET的导通状态特性。
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[1] 7174A型矩阵卡http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/semiswitchsys/Semimatrixcards/?mn=7174A
[2] 隔离继电器http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/switching/7013s
[3] 簧式继电器http://keithley.com.cn/news/prod100513
[4] 7072型http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/semiswitchsys/Semimatrixcards/?mn=7072
[5] 7072-HV型矩阵卡http://www.keithley.com.cn/products/semiconductor/semiswitchsys/Semimatrixcards/?mn=7072-HV