MEMS开关与固态开关一样具有小尺寸的优势，可以工作在DC/0Hz情况下，具有很高的动作寿命，低功耗，低导通电阻。MEMS开关具有继电器的诸多优势，也同时具有了固态开关的大量优点。
MEMS开关有两个不足点，热切换和ESD性能，但是瑕不掩瑜，从仪器仪表应用来看，小尺寸，与继电器相当的性能和宽带宽，非常具有使用价值。
MEMS开关可以很好地应用于自动化测试设备、射频测试设备、国防、航空航天等应用中，这些应用迫切需要低插入损耗，在仪器仪表中，有对从直流开始的高带宽性能的需求，这种完美的继电器性能，对用户来说别具吸引力。
与传统机电继电器相比，ADI的RF MEMS开关ADGM1304和ADGM1004 ——速度加快了30倍，可靠性提高了10倍，而功耗仅为原来的十分之一！
业界为之一振，纷纷称赞它们为开关领域带来了革命。而所有这些优势，其实都要归功于MEMS技术所带来的小体积优势——与传统机电继电器相比，RFMEMS开关的体积竟然缩小了95%之多。
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