平面波导光延时线具有尺寸小、易集成等优势,不但可以通过精确调制波导长度控制延时时间,而且还容易制备出超长的波导线,在光通讯系统中有着重要的应用。
图1 石英波导光路图
图1为在石英衬底上集成的平面光波导,接入隽龙科技与国外Semicon 合作开发的超高精度分布式光纤传感仪OCI1500进行测量,空间分辨率为10μm。
(a)
(b)
图2测量结果
图2(a)和(b)两个波导光延时线长度分别为2.30199m和3.09831m。延时线上散射光形成一段斜坡并呈现出规律的半圆形。斜坡下降的幅值代表整个波导产生的插入损耗,(b)图约为3.3dB/m。半圆形是由螺旋型光路导致的,出现的突起损耗点为弯曲导致的回波损耗,是光路中心较大的弯曲造成的。
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