3. 应用例子:
目前吉时利已经将上面所介绍的设计方法成功应用于其最新的S600DC/RF APT系统中,用于实现过程监控。其关键的性能指标包括:
基于吉时利S600 APT带固态转换开关的直流测试系统以及Anritsu VNA技术,高速的射频测量能力实现了1KHz的频率分辨率、稳定自动校准以及从20到110GHz频率的模块化升级功能;
Anritsu VNA集成了快速扫描源、自动反向S参数测试装置和四通道接收器;
GGB的自对准G-S-G探针技术具有从直流到200GHz的测量能力,探针接触次数可达30万次以上(相比原来的系统提高了100多倍);
吉时利System 41型射频开关技术是实现多DUT测试的一种方案,能够支持20GHz的测量;
可以在PASS/FAIL测试中使用单一界限或分段界限;可以对数据进行1到4096次求均值;
完全生产自动化、高效测试编程和高效率工具为所有直流和射频参数的测量提供了高产能和高精度。
APT系统的设计可以与任意自动探测器结合使用,能够在测试过程中快速执行全自动的一遍校准——不需要人工验证。校准过程包括对可能会影响数据完整性的探针盘/互连阻抗的自动去嵌入处理,执行时间只有大约两分钟。(传统机架式系统的手工校准过程需要进行四遍,耗时两个小时。而且,手工去嵌入操作会由于污染的影响而容易出现探测偏差,导致较低的数据完整性而不得不进行反复测量,降低了效率。)探针的自动清洁功能也在这一系统中实现了。