| 仪器类型 | 在半导体测试系统中的主要应用 |
| 波形发生器 | 产生模拟激励波形 |
| 信号处理器 | 对模拟波形进行分析（利用数字信号处理） |
| 电源 | 向测试系统提供电力 |
| 示波器 | 对器件的波形进行捕获和分析 |
| 射频信号发生器 | 产生射频激励波形 |
| 时间/频域源 | 供系统和被测件用的时间基准 |
| 频谱分析仪 | 对波形频谱成分进行分析 |
| 光谱源 | 产生供光波器件用的信号 |
| 光波分析仪 | 对来自光波器件的信号进行分析 |
| 逻辑分析仪 | 对数字波形进行捕获和显示 |
| 协议分析仪 | 对通信协议进行分析 |
| 参数测量装置 | 激励/测量电压和电流 |
| 引脚电子测试设备 | 激励/测量数字输入/输出 |
| 定序器/APG | 产生数字矢量序列 |
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