用SUPERFISH程序对非均匀三腔谐振腔的高频特性进行了数值分析。分析了各腔长度的变化对类TM010 2π/3模式及其频率、各腔纵向场分量Ez大小及Ez径向分布的影响。结果表明：当各腔长度变化时，该模式只在一定范围内存在，且频率变化不大，频率的最大值和最小值相差小于4%；当该模式存在时，第一腔长度越小，则第一腔的纵向场分量越大；当第一腔长度不变时，第三腔的纵向场分量随着第二腔长度的增大而增大，而第一，二腔纵向场分量则随之变小；各腔长度变化对纵向场分量的径向分布影响很小。