文档简介
利用哈特曼夏克传感器测量圆孔径内波像差时,通常使用泽尼克模式复原算法。推导了一般情况下哈特曼夏克传感器泽尼克模式波前复原误差的计算公式。用哈特曼夏克传感器测量一个像差板的随机静态像差,通过与ZYGO 干涉仪的测量结果比较,得到不同泽尼克模式复原阶数下的波前复原误差的实验结果,并与理论计算结果进行了对比。关键词: 哈特曼夏克传感器; 模式波前复原; 泽尼克多项式
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