等离子体模块是用于模拟低温等离子源或系统的专业工具。借助模块中预置的物理场接口，工程师或科学家可以探究物理放电机理或用于评估现有或未来设计的性能，例如直流放电、感应耦合等离子体、容性耦合等离子体、微波等离子体、表面气相沉积等。

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等离子体模块简介 comsolintroductionnotefm Page 1 Tuesday June 2 2015 429 PM 等 离 子 体模 块简 介 19982015 COMSOL 受收录于 wwwcncomsolcompatents 的美国专利， 以及美国专利 7519518 7596474 7623991 8457932 和 8954302 专利未决的保护 本文档和文中所述的程序根据 COMSOL 软件许可协议 wwwcncomsolcomcomsollicenseagreement 提 供且仅能按照许可协议的条款进行使用和复制 COMSOL COMSOL Multiphysics Capture the Concept COMSOL Desktop LiveLink 和 COMSOL Server 均 为 COMSOL AB 的注册商标或商标所有其他商标均为其各自所有者的财产， COMSOL AB 公司及其子 公司和产品不与上述商标所有者相关联，亦不为其正式认可赞助或支持相关商标拥有者的清单请参 见： wwwcncomsolcomtrademarks 版本 ......