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介绍了几种高g 值M EM S 加速度传感器敏感元件的结构和原理, 并对其结构特性进行了分析, 最后给出了研究过程中所采用的圆膜片结构和仿真结果。关键词:M EM S; 加速度传感器, 结构分析
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