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分离式干涉镜的激光干涉仪系统在测量线性、角度、直线度方面的优点分析pdf

1星发布者: froglucky

2013-12-06 | 1积分 | 384.91KB | 1 次下载

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文档简介

标签：分离干涉激光激光干涉仪干涉仪

本文研究了各种测量模式，并且详细阐述了干涉测量的优点，即激光器装在独立的三角架上，干涉光学镜为分离安装。本文还重点介绍了环境补偿系统对线性测量精度的影响的重要性。

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