文档简介
标签：
双膜桥微波MEMS开关
介绍了一种双膜桥微波MEMS 开关,给出了开关的设计与优化方法,建立了开关的仿真模型,使用硅表面微机械工艺制造了双膜桥开关样品,其主要结构为硅衬底上制作CPW 金属传输线电极和介质层,然后制作具有微电感结构的金属膜桥,提高了开关隔离度。利用HFSS 软件仿真的结果表明,该开关在微波低频段(3～6GHz) 有着很好的隔离性能。研制的开关样品在片测试的电性能指标为:插损小于0. 3dB ,隔离度大于40dB ,驱动电压小于24V。关键词: 微机电系统; 射频开关; 高隔离度
评论
加载更多
推荐下载
查看更多
精选文集
相关视频
-
Soc Design Lab - NYCU 2023
-
嵌入式开发入门模电（模拟电路）基础
-
电赛特训营（硬币检测装置）
-
微波收发机系统ADS仿真与设计实践
-
数模混合信号电路设计（鲁汶大学）
-
进阶混讯实体晶片布局设计
推荐帖子
精选电路图
-
CCD图像传感器在微光电视系统中的应用
-
如何利用ESP8266制作一个简单的四轴飞行器
-
非常简单的150W功放电路图
-
一个简单的警笛电路图
-
优化电路板布局的简单方法
-
使用NE555和磁簧开关的橱柜照明电路
