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《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》国家科技重大专项2013年项目指南rar

1星发布者: jujuyaya222

2013-12-06 | 1积分 | 8.56KB | 0 次下载

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文档简介

标签：极大规模集成电路电路制造

为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力，充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”根据实施方案和“十二五”实施计划。

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