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传感器
LMI 公司工业传感器研究部新近推出的SLS7000 型镜面反射传感器在1mm 测量范围内具有25mm 的分辨率和16kHz 的采样率< 采用一种“快速光控制电路”专利产品= ，可见激光光斑尺寸为5&!6 > %&!6，允许仿形测量复杂目标结构，诸如细小裂纹和沟槽等。该传感器的内置数字处理器执行测量数据的平均运算，其滤波运算部分放在另一个分离的控制器装置内，并与传感器头用接口连接。该传感器可应用于芯片线路板、母板和半导体器件等的质量检测
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