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PSD传感器的原理及应用
介绍了由日本滨松公司研制开发的一种能提供感光表面连续移动光点位置信号的S3271-3274系列光电子位置敏感传感器PSD,指出了该系列PSD器件的性能指标、使用条件以及注意事项,最后分别给出了利用这些PSD传感器来进行液体浓度测量、固体硬度测量以及两平面相对平行度测量的方胆和示意图.
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