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金属氧化物半导体气敏传感器的加热电路pdf
1星 发布者: nkyqsl

2013-09-20 | 1积分 | 202.92KB |  0 次下载

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标签: 金属氧化物半导体气敏传感器的加热电路

金属氧化物半导体气敏传感器的加热电路

半导体气敏传感器有多种分类方法,主要一种是将其分为两类—电导控制型气敏传感器和电压控制气敏传感器。其中电导控制型一般以金属氧化物半导体材料如SnO、ZnO、FeO系为基体,加入合适的催化金属和添加剂,采用烧结、厚膜或薄膜工艺制成。该型传感器已有四十多年的发展历史,国内外有众多生产厂商,其中N-SnO半导体气敏传感器是工艺最成熟且应用最为广泛的气敏器件之一,也是各厂家的主要产品。本文中将以N- SnO材料制成的气敏传感器为例,介绍其加热电路在使用中出现的问题及处理方法。

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