Visual Basic 6.0 具有强大的图形图像处理功能，并广泛应用于图形设计、图像处理及多媒体技术中。本文着重介绍了Visual Basic 6.0 在实现显微图像测量中的编程技术，并应用于半导体芯片尺寸测量。关键词：半导体芯片，显微技术，图像测量， Visual Basic 6.0 编程在信息时代，半导体集成器件制造业快速发展，对半导体器件的检测提出了越来越高的要求。其中显微图像的测量是一个关键问题。本文着重讨论了Visual Basic 6.0 在实现显微图像测量中的编程技术。Visual Basic 语言简单易学，其可视化的用户界面设计功能，把程序设计人员从烦琐复杂的界面设计中解脱出来。Visual Basic 6.0 通过大量的绘图函数为图形图像处理提供了强大的功能，使得它在图形图像处理领域有着广泛的应用。显微图像的处理作为图像处理领域的一个重要组成部分，不仅具有一般图像处理的特点，而且在图像处理的内容上更具自己的特色。这其中，对于整个显微测量系统的标定又是尤为重要的一个内容。本文在通过对Visual Basic 6.0 编程和显微技术以及图像处理技术等进行认真研究的基础上，给出了Visual Basic 显微图像处理及测量程序，实现了对半导体芯片的显微测量。具体来说，显微系统首先将被测对象放大，并成像于CCD 的靶面上。接下来，CCD 将所捕捉到的图像通过图像采集卡送到计算机，最后由计算机实现对所拍摄到的显微图像进行处理和测量。这里计算机对图像的处理和测量的编程运用的都是Visual Basic 6.0 语言。