半导体材料是二级学科“微电子与固体电子学”的一个分支学科，《半导体材料物理与技术》将这一分支学科的专业知识划分为半导体材料概述、物理性能、晶体生长、热处理、性能测量和工艺基础技术6个组成部分，通过把分散在众多教科书、专著和文献资料中的专业知识系统地纳入这一学科体系框架，使之成为一本全面介绍半导体材料物理知识、工艺基本原理和实用化技术的专业书籍。由于篇幅的限制，《半导体材料物理与技术》并未深入涉及物理学基本原理的推导、各种材料的性能参数和各类制备工艺的技术细节，需要时读者可运用搜索引擎来获取相关的内容。

前言

第1章概述

第2章半导体材料的物理性能

第3章半导体材料的生长

第4章半导体材料的热处理

第5章半导体材料性能参数的测量

第6章半导体材料制备工艺的基础技术