文档简介
介绍了对新型发光二极管外延片光致发光系统的改进,以VC.net 为语言工具编制软件,对发光二极管外延片关键性能参数的测量结果进行分析。增加了薄膜厚度测量的性能,完善了测量系统的功能。基于PC 的检测系统智能化、自动化,实现了对LED 外延片的无损、快速、准确的在线扫描测量。
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