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SOI材料的发展历史
应用现状与发展新趋势
国际SOI 市场95%的应用集中在8 英寸和12 英寸大尺寸薄膜SOI,其中绝大多数用户为尖端微电子技术的引导者,如IBM、AMD 等。目前供应商为法国Soitec、日本信越(SEH)、日本SUMCO,其中SOITEC 前两家供应了几乎全部的SOI 产品。其主要驱动力来自于高速、低功耗SOI 电路,特别是微处理器(CPU)应用,技术含量高,附加值大[2-4]。例如,2005-2006财务年度Soitec 公司销售的SOI 圆片,12 英寸占60%,8 英寸占28%,其他占12%。可见,SOI 的高端应用,主要是需要12 英寸的圆片。
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