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2018年04月03日 | 他跟张忠谋学沟通扭转半导体规则
2018-04-03 来源：商周杂志
台积电2017年第4季营收82%使用林本坚的技术
他改变了全球半导体产业技术路径，让老大哥英特尔（Intel）及设备商艾斯摩尔（ASML）、尼康（Nikon）等业内巨头，舍弃耗费逾十亿美元和数年的研究心力，跟着他与台积电一起转弯。不但全球半导体制程得以往下推进六到七个世代，约十四年时光，台积电也因此跻身一线大厂、主导业界规格。
他是中研院院士林本坚，台积电前研发副总经理。台积电董事长张忠谋曾称，假如没有林本坚及其团队，「台积电的微影（半导体关键制程之一）不会有今天这规模。」
退休后在清华大学担任特聘研究讲座教授的林本坚，近日出版他第一本半自传式著作，并与我们一起重温当年他是如何扭转乾坤。
林本坚在越南出生，至青春期才来台湾求学，说话语调细软，过去部属昵称他「Burn（其英文名）爷爷」。他待人和善，但对所相信的事物和理念，却不轻言退让。
他的提案，同业主管批搅局
「虽千万人，吾往矣！」林本坚如此形容他二○○二到○四年那改写历史的一役。
当时状况是这样的：随着半导体制程往下演进，关键制程之一的微影，也得持续缩短光束波长。一直以来，业界习惯以空气为媒介，是「干式」的微影，但此技术却已「撞墙」，在一百五十七纳米波长卡关。而当时任职台积电的林本坚却跳脱框架，退回一百五十七纳米波长的上一世代，改用水做为介质，发展出「浸润式微影」技术，让光束波长一举缩短至一百三十四纳米，突破瓶颈。
这样的破框思维，起初却是孤独，甚至遭受敌意。
因其他业者已投入共计逾十亿美元研发经费在干式显影上，接近当时台积电一整年的资本支出。林本坚的理论若被采用，等于宣告其他人前功尽弃。台积电前共同营运长蒋尚义为林本坚写序：「（当年）确实有大公司的高层主管表达严重关切，希望我能管管他（林本坚），不要搅局。」
史海拾趣
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