历史上的今天
今天是：2024年10月26日（星期六）
2018年10月26日 | 不只降低废气和悬浮颗粒！韩国团队新技术还能使半导体设
2018-10-26 来源：芯科技
韩国研究团队开发出新的「断电式减少燃气、灰尘装置」技术，若在半导体制程中采用，可针对制程前、后所产生的污染物质进行处理，有效的减少废弃物质与温室气体，同时预计能使半导体设备规模减少30%。
根据韩国财经媒体《首尔经济》报导，韩国机械研究院的院长朴天洪表示，环境系统研究本部中的金勇镇博士研究组，开发出了可以用于处理半导体工程的燃气、灰尘装置。
随着大面积的显示屏产量增加、制造半导体所需的晶圆直径开始大型化，半导体工程中的快速洗净工程等也随之增加，这样的影响会造成半导体制程废气量持续增加。
在半导体生产制程中，经过腐蚀、化学蒸镀或离子注入等步骤，会产生多样的有害物质，诸如SF6（六氟化硫）、CF4（四氟化碳）、NF3（三氟化氮）、HF（氟化氢）、氮氧化物以及悬浮微粒等，解决废气的必要性也开始提高。
一般来说，在制造设备或处理沉淀物等方面，通常会选择催化剂还原（SCR）和湿式清除设备等方法来清除。
而研究组新开发的装置则结合断电酸化、湿式还原、湿式电气集尘三种方式，不论是利用高温清除、低温处理废弃气体，还是不同的低温状态中，全部都可以在同一设备中处理。这项设备把排出的废气制成易溶性状态，再喷洒复合还原剂，最后排出的悬浮微粒气体将通过自动清洗型电气集尘装置清除，提高了净化效率。
金勇镇表示，如果现有污染物质去除装备的设置面积和处理量成比例的话，新开发的装置可通过气流量和浓度，以及与外部的静电注入量来对比做调节。
这项设备是采一体构造、复合处理的方式，可大量地减少设备面积，加上湿式自动洗净的电气集尘装置的低压和高耐久性技术，很适合生产线使用。研究组也认为，如果实际应用这项技术，设备规模将比现有减少30%左右。
史海拾趣
|
俺搞单片机的，以前没接触过sim卡，现在要在一种叫CIU5180的51智能卡上做个stk菜单，无从下手。 在eeworld上看了1天资料，只了解各皮毛，这里请教给位大大了。 这样不可以不：首先做个初始化，接收，发送的程程序。卡上电后，初始化通信，设置波 ...… 查看全部问答＞ |
|
可不可以将两个单片机的串口直接连接在一起进行通信？ 我用的是MSP430,该单片机上有串口模块，我直接将两个单片机的串口连接在一起，从一个单片机发信息给另外一个单片机。 但是好像数据没有成功发送出去，因为另外一个单片机上没有接收到数据。 ...… 查看全部问答＞ |
|
结温指半导体 元件 内部的温度。在LED 中是指芯片内发光层(pn结 间设置多重量子阱构造的位置)的温度。LED芯片 的发光层在点亮时温度会上升。一般情况下,结温越高,发光效 率就越低。LED随着输入电流的增加尽管光通量 会提高,但发热量会变大。由此会 ...… 查看全部问答＞ |
|
目前，汽车被盗的情况时有发生，给车辆导航的也是借助于GPS 的定位显示器，它只需接收24颗地球同步卫星中的两颗以上（越多越精确）就可以显示出当前车辆的位置，但它只能接受信息而没有发射功能，故对于防盗没有作用。本设备使用简便，闭合W1，车主 ...… 查看全部问答＞ |
|
现在越来越多的电路板采用表面贴装元件，同传统的封装相比，它可以减少电路板的面积，易于大批量加工，布线密度高。贴片电阻和电容的引线电感大大减少，在高频电路中具有很大的优越性。表面贴装元件的不方便之处是不便于手工焊接。为此，本文以常见 ...… 查看全部问答＞ |