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2019年02月18日 | 检测更严格，台积电交货期恐拉长
2019-02-18 来源：经济日报
台积电因光阻剂出包调降本季展望，熟悉半导制程专家表示，光阻剂是否有问题，很难在进料前检验出来。 此次事件之后，台积电势必更会为相关检测把关，虽然有助于降低出包率，但也恐因此提高晶圆制程在线检测频率，导致先进制程交货期拉长、成本因而增加，成台积电未来要克服的难题。
台积电强调，已通知所有受到此次事件影响的客户，并与其保持密切联系，同时个别沟通替代方案和产品交期。 公司也已采取行动，加强在线晶圆检测并对进货原料更严加控管，以因应日益复杂的先进制程技术。
专家表示，半导体化学品品项众多，以光阻剂为例，一定要经过黄光制程曝光反应后，才能知道每批光阻剂的特性，很难在进料前就会发现瑕疵。 台积电这次事件，应是让硅晶施作跑到制作完成，在检测晶圆电讯特性时才发现有异，但晶圆前段曝光影像制程速度相当快，如果无法在晶圆检测发生缺陷时就先挡下，就会面临严重后果。
史海拾趣
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