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2019年10月16日 | 为彻底摆脱日本限制,LG已实现100%产氟化氢国产化

2019-10-16 来源:eefocus

由于日韩两国之间的贸易纠纷,日本政府于 7 月 4 日加强氟化氢、光阻剂和氟化聚醯亚胺对南韩的出口管制,促使南韩业者积极寻求减少对日本技术的依赖。

 

尽管日本之后批准了部分气态氟化氢的出口,但液态氟化氢出口还尚无例外。此前 9 月 2 日有报道称,LGD 已完成对韩国生产的氟化氢的测试,8 日该公司证实,未来将实现 100%韩国国产原料生产替代。 


不过,LGD 相关人士最近表示,在面板生产中使用的液态氟化氢,已于最近全部转换为 (韩国) 国产品。这也意味着 LGD 旗下面板工厂已经完成使用国产氟化氢材料取代日本进口,100%韩国产。

 

 

高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种,在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻胶图案化之后的蚀刻细槽或孔等流程,是一种半导体生产中非常重要的原材料,日本公司在这个领域占据主要份额。

 

与 LG 相比,三星、SK 海力士也在积极展开日本材料的替换工作,不过这两家的主力产品是半导体芯片,对日产氟化氢以及另外两种材料光刻胶、氟化聚酰亚胺的依赖性比 LG 更高,替换起来没这么容易。

 

三星旗下面板事业三星显示也曾预计在 9 月完成国产高纯氟化氢的测试,并很可能在最终测试完成后,立即用于量产面板。

 

在此之前,三星显示使用的氟化氢来自日本和南韩企业,但在日本祭出制裁前,该公司已持续进行氟化氢的国产化试验。根据三星显示之前的测试结果,测试中还未发现任何关键问题,本地产品很可能在最终测试后立即用于批量生产。

 

另外,SK 海力士也将韩国产的氟化氢引入生产过程进行测试。


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