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2020年08月15日 | 松山湖材料实验室SiC外延设备通过验收了
2020-08-15 来源：爱集微
近日，广东省松山湖材料实验室陈小龙研究员带领的SiC及相关材料团队成功建设了一条SiC外延工艺研发产线。
7月29日，验收专家组对团队的外延设备及外延片质量进行了技术验收。验收专家组认为SiC及相关材料团队所生产的SiC外延片已经满足各项验收指标，该团队已经具备对外提供合格SiC外延片的能力。
松山湖材料实验室官方消息显示，SiC外延设备顺利验收和研发产线的成功建成，标志着松山湖材料实验室SiC及相关材料团队正式登上了SiC外延的舞台。
据介绍，该外延设备的生长速度可达30-60微米/小时。对100微米外延片，其背景载流子浓度低于1×1014cm-3，表面粗糙度低于0.25 nm，膜厚均匀性偏差优于1%，载流子浓度均匀性偏差优于7%，表面缺陷密度最低可达0.05/cm2。
松山湖材料实验室以中国科学院物理研究所为牵头单位，东莞市政府、中国科学院高能物理研究所为共建单位。2018年4月，松山湖材料实验室在东莞揭牌成立。
据南方日报去年报道，该实验室已引进18个高水平团队，均来自国内外著名高校和科研院所，所研究的项目内容涉及实用的合金材料、先进的量子材料等多个领域。分两批次打造创新样板工厂项目，包括新材料超快激光极端精细加工技术研发及产业化、第三代半导体材料和器件、仿生控冰冷冻保存材料等一批前沿“硬科技”产业化项目。
史海拾趣
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