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2020年10月23日 | 李在镕访ASML目的曝光,督促9台EUV光刻机提前出货

2020-10-23 来源:爱集微

据businesskorea报道,三星电子副会长李在镕正敦促ASML的高管尽早交付三星今年订购的9台的EUV光刻机。


该报道指出,李在镕日前在到访荷兰时,与ASML的CEO Peter Wennink、CTO Martin van den Brink等高管进行了会晤。李在镕要求ASML提前1个月交付EUV光刻机。对于三星的要求,传ASML考虑最快11月出货。

据悉,ASML是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商,年产量为40余台,台积电方面希望获得全数供应。EUV光刻机的价格昂贵,每台要价约1.3亿美元,由于是EUV制程必需的关键设备,台积电与三星电子的竞争日益激烈。

三星为了全力追赶台积电,正快马加鞭导入EUV光刻机,并扩建晶圆代工产线。今年5月,三星计划投资10万亿韩元在平泽二厂建设晶圆代工生产线,并计划于2021年下半年开始全面运营。华城的V1线于2019年投入运行,专门用于EUV工艺。

现阶段,确保EUV光刻机的数量是三星最紧迫的任务,如果EUV光刻机的安装延迟,全球客户最先进的高性能、低功耗芯片订单将流向台积电。


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