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2021年02月02日 | 第一台EUV曝光设备或被引入,SK海力士M16工厂竣工

2021-02-02 来源:爱集微

2月1日,SK海力士M16工厂在韩国京畿道利川总部举行竣工仪式。据韩国媒体FETV报道,SK海力士M16工厂于2018年11月开始建设,共投资了3.5万亿韩元,时隔25个月内完成建设。M16工厂主要生产DRAM产品,建筑面积为57,000平方米(17,000坪),长336m,宽163m,高105m。它是SK海力士在韩国内外最大的生产基地。

值得一提的是,M16首次引进EUV光刻设备,并从今年下半年开始生产1αnm DRAM产品。


EUV
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