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2021年04月20日 | 华卓精科的北京亦庄项目，集成电路高端装备实现规模化生
2021-04-20 来源：爱集微
集微网消息，华卓精科2018年5月份在北京经开区启动建设华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目。
据北京亦庄消息显示，经过不到3年时间建设完成，华卓精科多年布局研发的光刻机工件台、激光退火设备、晶圆键合设备等集成电路领域高端装备实现规模化生产。华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目已建成并投入使用。
据介绍，华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目总建筑面积45500多平方米，目前厂房里的产线搭建完成并启动运行，研发实验室设备齐全。
为了推进多年研发的系列集成电路高端制造设备产业化，2018年5月，华卓精科在北京经开区启动建设华卓精科半导体装备关键零部件研发制造项目。
史海拾趣
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