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2021年07月25日 | 台积电/三星等厂商需求增加 ASML计划2023年生产60台EUV设备
2021-07-25 来源:爱集微
近日,据韩媒thelec报道称,ASML CEO彼得·温宁克(Wennink)表示,公司计划今年生产约40台极紫外光(EUV)设备,到2022年将扩大到55台,到2023年将扩大到60台。而EUV设备交货时间也将从之前的18个月缩短到12到18个月。
据了解,ASML是唯一一家生产用于高端晶圆制造的EUV设备供应商。这些设备每台耗资1500亿韩元-2000亿韩元(8.44-11.26亿元人民币)。ASML从德国公司采购设备所需的镜头。然而,它每年可以购买的镜头数量有限,这导致设备生产时间较长。
该报道称,台积电和三星分别是全球最大的和第二大制造公司,它们一直在使用EUV设备进行7纳米或以下芯片的先进微晶加工。
英特尔最近表示,它也计划使用EUV设备,而三星和SK Hynix现在都使用EUV生产DRAM。Micron还表示,计划从2024年开始将EUV应用于DRAM生产。
温宁克表示,其三大DRAM客户都计划使用EUV进行批量生产,预计2021年这些公司将花费12亿欧元购买EUV设备,未来向这些公司供应的EUV设备将会增加。
同时,ASML也开始生产其名为NXE 3600D的新型EUV设备。与前代3400C相比,该设备的生产率提高了15% 到20%,叠加率提高了30%。该公司表示,从2022年起,所有EUV设备将达3600D。
与此同时,ASML第二季度的销售额为40亿欧元,净利润为10亿欧元,分别比2020年第二季度增长20%和38%。温宁克表示,公司预计2021年的销售额将比2020年增长35%。
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