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2021年12月15日 | 荷兰巨头ASML将推出更新型的光刻机 比EUV还先进

2021-12-15 来源:CNBC

CNBC 报道称,全球最先 进的光刻机厂商荷兰AMSL公司正在开发一种新版本的EUV光刻机,将成为世界上最先 进的芯片制造设备。中国现在连EUV光刻机都买不到,所以,对于这种更新型的光刻机,更要警惕。


这种光刻机被称为 High NA(高数值孔径)。据称,第一台高 NA 机器仍在开发中,预计从 2023 年开始提供先行体验,以便芯片制造商可以更快地开始验证并学会如何使用。然后,客户可以在 2024 年和 2025 年将以此进行自己的研发工作。从 2025 年开始,它们很可能用于大批量制造。


这种NA光刻机可以让芯片制造商研制出更复杂的芯片。光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。EUV光刻机如今名气巨大,其实推出时间并不长。


NV光刻机还没问世,就已被全球各芯片厂盯着。今年 7 月,英特尔首席执行官表示,该公司有望成为 ASML 新机器的第一个接收者。


而2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,按理于2019年初交货,却迄今未收到货,因为美国为了限制荷兰ASML公司向中国公司出口极紫外光刻机(EUV),对荷兰屡次施压。  最终,荷兰不再续签 ASML 的出口许可。而中国则是 ASML 公司的第二大客户,占其营业总收入的 20%,ASML也希望能增加其在华的销量。


假如几年之后ASML公司推出更新型的光刻机,那中国和国外的芯片代工能力的差距有可能进一步拉大。


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