华力12英寸厂搬入大陆最先进ASML光刻机

上海报道 记者 茅茅

5月21日上午，在上海浦东新区康桥工业园南区，由华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目（以下简称“华虹六厂”）实现首台工艺设备——光刻机搬入。

据悉，此次搬入的首台工艺设备为荷兰阿斯麦公司的NXT 1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。

据集微网了解，近日陆续有多台ASML 的设备运入中国大陆晶圆制造厂。其中，中芯国际的已经购入首台价值1.2亿美元的ASML EUV设备；长江存储的首台光刻机也已运抵武汉天河机场，这台光刻机为ASML的193nm浸润式光刻机，售价7200万美元用于14nm~20nm工艺。

华力12英寸先进生产线建设项目是上海市最大的集成电路产业投资项目，总投资387亿元人民币，将建成月产能4万片的12英寸集成电路芯片生产线，工艺覆盖28-14纳米技术节点。项目计划于2022年底建成达产，主要从事逻辑芯片生产，重点服务国内设计企业先进芯片的制造，并满足部分事关国家信息安全的重点芯片制造需求。（校对/刘洋）