《上海市智能制造行动计划》助力国产光刻机发展

上海市经信委消息称。为贯彻落实党的十九大“加快建设制造强国，加快发展先进制造业，推动互联网、大数据、人工智能和实体经济深度融合”的战略部署，以及市委市政府“推动制造业高质量发展”的工作部署，进一步推动全市智能制造发展，加快制造业智能化转型，实现高质量发展，上海经信委研究制定了《上海市智能制造行动计划（2019-2021年）》。，请结合实际认真贯彻落实。

“计划”中表示，展望到2021年，制造装备产业规模超过1300亿元，其中机器人及系统集成产业规模突破600亿元，产业规模位居全国前列；二是实现100项“卡脖子”的智能制造关键装备、核心部件与工业软件首台套（首版次）突破；三是全力打造汽车、电子信息两个世界级智能制造产业集群。

具体落实下来，按照“计划”的说法：在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。在信息通信领域，大力推动通讯终端产品数字化设计、工艺设计与仿真，开发产品数据管理系统，建立产品数字化研发平台；提高智能测试装备、基于机器视觉识别的质量在线检测系统、智能仓储物流装备等普及率；建立基于5G的工业互联网平台，实现现场数据采集与制造执行系统、企业资源计划系统的数据集成共享，提高生产效率和降低生产成本。

由此可见，这将给国产光刻机、刻蚀机尤其是国产光刻机带来巨大的机会。

我们知道，与国外的巨头ASML、佳能甚至尼康相比，本土的光刻机依然有很大的差距。目前，我国从事集成电路前道制造用光刻机的生产厂商只有上海微电子（SMEE）和中国电科（CETC）旗下的电科装备。至2016年，上海微电子已经量产90纳米、110纳米和280纳米三种光刻机，其中性能最好的是90nm光刻机。相比较而言，国际上领先的ASML已经开始探索5nm乃至3nm的可能。

这次“计划”的推出，对于本土光刻机来说是一个好事，但同样面临巨大的挑战。

附：上海市智能制造行动计划（2019—2021年）

智能制造是新一代信息技术和先进制造技术深度融合产生的新型生产方式。加快发展智能制造，是应对全球新一轮科技革命与产业变革，打响“上海制造”品牌、擦亮“上海制造”名片，推动“上海制造”高质量发展的必然选择。为贯彻落实制造强国战略，推动经济高质量发展，特制定本行动计划。

（一）指导思想

全面贯彻落实党的十九大精神，以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，牢固树立新发展理念，深化供给侧结构性改革，对标国际最高标准、最好水平，完成中央交给上海的增设上海自贸试验区新片区，在上交所设立科创板并试点注册制，将长三角区域一体化发展上升为国家战略的三大任务，按照“以示范带应用，以应用带集成，以集成带装备，以装备带强基”的思路推进智能制造发展，着力优化完善智能制造发展环境，积极探索智能制造新模式，创新智能制造应用新机制，加快制造业智能化转型，为塑造“上海制造”新优势、实现制造业高质量发展及构建智能经济形态奠定坚实基础。

（二）主要目标

到2021年，全市智能制造发展基础和支撑能力显著增强，智能制造新模式进一步推广应用，重点行业的智能制造水平显著提升，5G、人工智能、互联网、大数据和制造业融合程度进一步深化，努力将本市打造成为全国智能制造应用新高地、核心技术策源地和系统解决方案输出地，推动长三角智能制造协同发展。具体目标是：

1.创新能力进一步增强。一是智能制造装备产业规模超过1300亿元，其中机器人及系统集成产业规模突破600亿元，产业规模位居全国前列；二是实现100项“卡脖子”的智能制造关键装备、核心部件与工业软件首台套（首版次）突破；三是全力打造汽车、电子信息两个世界级智能制造产业集群。

2.发展基础进一步夯实。一是培育10家科创板上市企业，打造一批智能制造关键装备、核心部件等细分领域的单项冠军；二是牵头制定50项智能制造标准，智能制造标准体系进一步完善；三是培育2-3家国家级、3-5家具有行业影响力的公共服务平台，支撑能力进一步增强。

3.应用能级进一步提升。实施上海智能制造“十百千”工程，培育10家10亿元规模、1-2家100亿元规模的智能制造系统解决方案供应商，系统解决方案供给能力显著提升；培育100家智能制造示范工厂（其中10家为标杆工厂），推动1000家规模以上制造业企业实施智能化转型；推动重点行业示范工厂生产效率提高50%，能源利用率提升35%。

4.长三角协同进一步深化。推进长三角智能制造“百千万”工程。一是建设100家国家级智能制造工厂；二是重点建设1000家“三省一市”互认级智能制造工厂，培育离散型、流程型、网络协同、大规模个性化定制及远程运维服务等新模式；三是在示范企业的引领带动下，推动10000家规模以上企业实施智能化转型。

（一）产业创新突破行动

突破一批关键技术装备和核心零部件，攻克一批智能制造共性技术与软件，培育壮大一批智能制造系统解决方案供应商，实现硬件更高端，软件更智能，集成更协同。

1.突破一批关键技术装备和核心零部件。坚持高端化、自主化、智能化发展方向，支持装备制造商研制具有自感知、自决策、自执行功能的高端数控机床、工业机器人、检测装配、物流仓储等智能制造装备，并实现在重点行业的规模化应用。聚焦汽车、

2.航空航天等行业急需的专用生产设备、产线及检测系统，鼓励支持系统解决方案供应商、装备制造企业、用户单位联合研制智能化成套装备（生产线）。深入推动工业强基工作，遴选一批“卡脖子”关键零部件，通过持续实施重点领域补短板行动，突破高性能专用伺服电机和驱动器、高精度减速器、高档控制系统、高速大扭矩切削电主轴等关键零部件。

3.攻克一批智能制造共性技术与软件。围绕智能制造应用中的感知物联、机器人应用等共性技术，着力突破工业视觉检测、机器人协同装配等共性技术。组织开展智能制造基础共性、关键技术、重点行业标准与规范的研究制定工作，搭建标准试验验证平台，提升上海在智能制造标准方面的话语权。加强工业软件支撑能力建设，鼓励支持软件企业和工业企业联合开展智能制造基础软件、研发设计软件、控制软件、数据管理软件、物流管理软件及系统解决方案的联合攻关，提升智能制造软件的自主可控。

4.培育壮大一批智能制造系统解决方案供应商。面向制造业企业建设智能制造单元、智能生产线、智能车间、智能工厂的需求，支持装备制造企业、自动化工程公司、信息技术企业向智能制造系统解决方案供应商转型。支持系统解决方案供应商拓展市场、加快全球化布局，通过技术、资本强强联合等方式发展成为行业内的龙头企业。支持系统解决方案供应商联合装备制造商、软件开发商，推进智能制造装备、核心软件、工业互联网的集成应用，进一步提升上海智能制造系统集成与服务能力。

（二）重点行业智能制造推广行动

推进汽车、电子信息、民用航空、生物医药、高端装备、绿色化工及新材料等行业的智能化转型和新模式应用，推动优势产业集群化、新兴产业规模化、特色产业高端化发展。

1.推进汽车行业智能制造深度应用。发挥汽车行业产业链长，带动效应明显的优势，以整车智能制造为牵引，带动动力电池、驱动电机和控制器等核心零部件企业同步提升智能制造能级，使本市汽车产业成为智能化转型升级的标杆行业；通过系统互联互通、数据价值驱动、制造服务转型、组织生态创新等新理念的引入和实践，深入推进物联网、大数据、工业云等技术的应用，开展数字化生产、网络化协同、个性化定制与服务化延伸的智能制造实践。

2.推动电子信息行业智能制造广泛应用。在集成电路领域，重点以芯片制造、大硅片制备和封装测试为主攻方向，推动光刻机、刻蚀机等关键技术装备研制和产业化，提升芯片制造产业链的智能化和自主可控水平。在信息通信领域，大力推动通讯终端产品数字化设计、工艺设计与仿真，开发产品数据管理系统，建立产品数字化研发平台；提高智能测试装备、基于机器视觉识别的质量在线检测系统、智能仓储物流装备等普及率；建立基于5G的工业互联网平台，实现现场数据采集与制造执行系统、企业资源计划系统的数据集成共享，提高生产效率和降低生产成本。

3.推进民用航空产业智能制造应用。以全面提升支线客机和大型客机研制、批量化生产能力为目标，建立飞机制造网络化资源协同平台，实现企业间、企业部门间创新资源、生产能力的协同，形成贯穿设计、供应、制造和服务各环节的上下游产业链的无缝对接。围绕飞机大部件、整机装配智能化，建立大型客机智能装配车间，实现飞机大部件自动化对接、自动化钻铆、数字化测量和数字化质量分析,以及大部件自动化运输、总装移动装配、智能化集成测试。构建智能化柔性生产线，满足航空零部件多品种小批量的加工要求，为支线飞机批产与大型客机研制提供质量稳定的零部件。

4.促进生物医药行业智能制造应用。重点聚焦生产状态在线监控、产品全流程追溯、大数据应用创新等，实现产品安全可控、研发快速高效。支持建设制药数字化车间/智能工厂，推广应用制药智能装备，实现小批量、多品种的柔性生产模式，对生产状况、设备状态、能源消耗、生产质量、物料消耗等进行实时采集和分析，实现生产过程自动化、可视化、精益化和可追溯，确保创新药、仿制药、疫苗等品种生产工艺的连续性和规范性，保障药品质量稳定。

5.推动高端装备行业智能化转型发展。重点聚焦互联智能工厂、制造服务化、供应链协同等，全面提升生产自动化水平、设备运行效能和产品创新能力。在发电设备、数控机床、智能电梯等高端装备领域，突破面向高端装备个性化定制的新模式，实现产品模块化设计、零部件智能生产、装配及检测智能化，为高端装备的个性化定制和柔性生产奠定基础。鼓励支持大型装备制造企业搭建工业互联网平台，利用5G、互联网、大数据、人工智能等新技术手段，提供远程维护、故障预测、性能优化等服务，促进高端装备领域企业实现服务化延伸。

6.促进绿色化工及新材料行业智能制造应用。重点聚焦大数据应用创新、产业交易生态圈等，推动全产业链集成创新和服务制造化转变。在绿色化工、新材料等流程型制造企业中，推动建立网络化协同平台，实现资产运营、生产管理、供应链协同优化及产品全生命周期管理。加强智能传感和实时数据采集、在线检测、远程监控与故障诊断系统的集成应用，提升企业在资源配置、工艺优化、过程控制、质量控制与溯源、能源需求侧管理、节能减排及安全生产等方面的智能化水平。

（三）平台载体提升行动

打造以临港为核心，浦东、闵行、嘉定、宝山、松江等区域构成的近郊产业带，形成“一核一带”智能制造产业集群；加强上海智能制造研发与转化功能型平台、国家机器人“两个中心”等平台建设，为上海智能制造发展提供平台载体支撑。

1.打造“一核一带”智能制造产业集群。综合考虑资源禀赋、产业基础、区域定位等因素，在全市形成“一核一带”智能制造发展空间布局。“一核”是指临港世界级智能制造产业中心，引进和培育一批具备国际竞争力的智能制造装备供应商、系统解决方案供应商，搭建若干个智能制造公共服务平台，树立若干智能制造示范、标杆工厂。“一带”是指由浦东、闵行、嘉定、宝山、松江等区域形成的智能制造近郊产业带。浦东以康桥、金桥、祝桥等区域为重点，大力发展工业机器人等智能制造装备以及智能制造软件，在新一代信息技术、航空、汽车等领域建立智能制造标杆工厂；闵行区依托闵行开发区、莘庄工业区、浦江镇等区域发展高端数控机床等智能制造装备，在新一代信息技术、航天、电力装备、电梯等领域建立智能制造标杆工厂；嘉定区依托嘉定工业区、安亭、南翔等区域，重点发展工业机器人、服务机器人以及智能制造装备关键部件和系统解决方案，在汽车等领域建立智能制造标杆工厂；宝山区以顾村等区域为重点，发展工业机器人及智能制造系统解决方案；松江区以长三角G60科创走廊为依托，重点发展智能机器人等智能制造装备及智能制造系统解决方案。

2.搭建智能制造公共服务平台。着力建设上海智能制造研发与转化功能型平台，开展智能制造关键共性技术和装备研发、标准验证以及技术成果转化，力争成为具有国际影响力的智能制造协同创新平台。支持国家机器人测试与评定中心、国家机器人质量监督检验中心做大做强。依托上海市智能制造产业协会、机器人行业协会等服务机构，促进系统集成商、软件开发商、设备制造商和用户之间的对接合作。

（四）区域协同发展行动

在智能制造标准制定、产业链对接、示范工厂建设及论坛展会举办等方面加强合作，推动长三角区域协同发展；鼓励企业以“一带一路”为契机，深化国际交流合作，共同打造智能制造发展生态圈。

1.推动长三角区域协同合作。鼓励支持“三省一市”企业、高校院所组成联合体开展智能制造标准制定，推动国家智能制造标准在“三省一市”先行先试。“三省一市”共同制定数字化车间/智能工厂评价标准，打造一批国际先进、模式创新的示范性智能工厂。组织开展长三角系统解决方案供应商与用户企业的对接，加速长三角制造企业的智能化转型。共同举办智能制造论坛、展会等活动，组织开展“三省一市”数字化车间/智能工厂交流访问活动，推动长三角智能制造相关人员的互访和交流。策划发起成立长三角智能制造协同创新发展投资基金。

2.深化国际交流合作。借助中国国际进口博览会和工业博览会等平台，鼓励本市企业、高校院所参与智能制造国际标准制修订，加强智能工厂、智能装备、工业网络等领域的标准互认。加快上海企业“走出去”步伐，以“一带一路”为契机，深化与沿线国家的产能合作，推动智能制造装备企业、智能制造系统解决方案供应商拓展海外市场，有效释放优质产能。深化与德国弗劳恩霍夫协会等国际著名机构的合作，提升本市智能制造发展能级。

（五）新兴技术赋能行动

推动5G通信、人工智能、大数据及工业互联网等新兴技术和制造业深度融合，打造若干个典型应用场景，实现5G广泛应用，AI深度赋能，数据全面驱动。

1.推动5G技术与智能制造融合发展。鼓励支持通信运营商、系统解决方案供应商和智能制造企业共同研究5G技术在智能制造领域的集成创新与应用，重点探索5G在物联网、工业自动化控制、物流追踪、工业AR、云化机器人等领域的应用。引导制造型企业利用5G高带宽、低时延的技术优势，建设基于5G的数字化车间/智能工厂，提高柔性制造水平和生产过程可控性，打通企业的信息流，实现从设计、生产到销售各个环节的互联互通，并在此基础上实现资源的整合优化。

2.促进人工智能技术在智能制造的应用。推进以机器视觉、智能传感、深度学习等人工智能技术在研发设计、生产运营、智能运维服务、供应链管理等方面的应用，推动生产方式向柔性化、智能化、精细化转变。利用机器学习和数据挖掘算法，提高对客户需求及特征的分析能力，优化产品的模块化设计和个性化元素的组合，提升研发水平。分析生产现场数据，实现设备在线检测诊断、预测性维护及产品质量实时监控，全面提升企业科学决策和智能化管理水平。

3.推进工业互联网在智能制造的深度应用。鼓励智能制造骨干企业通过工业互联网与产业链各环节紧密协同，促进生产、质量控制和运营管理系统全面互联，提升企业间协作水平。推动智能制造企业与工业互联网平台企业合作共建网络化协同制造公共服务平台，探索云制造服务模式，促进创新资源、生产能力、市场需求的集聚与对接，提高产业链资源整合能力。积极培育以大型工业企业为主体，推动企业从单项应用向综合集成跨越，建设面向特定行业、特定区域的企业级平台，实现企业内部互联互通、高效协同，推动企业提质增效。

（六）跨界融合创新行动

创新智能制造产融合作模式，多渠道帮助智能制造企业解决融资问题，推进智能制造与生产性服务业融合发展，鼓励智能制造装备企业借助自贸区优势，加快全球布局，实现多维一体，机制创新，跨界融合。

1.创新智能制造产融合作模式。针对系统解决方案供应商发展过程中遇到的资金瓶颈问题，推动商业银行为其量身定制综合金融解决方案，帮助系统解决方案供应商做大做强。支持符合条件的智能制造企业通过科创板上市直接融资。鼓励龙头企业与金融机构联合设立智能制造基金，重点投向智能制造关键部件和关键技术装备的研制和产业化。

2.推进与生产性服务业融合。推动智能制造企业向服务化延伸，形成智能制造与生产性服务业深度融合发展新模式。推动智能制造企业采取“众包”模式，开展关键技术攻关和创意研发，提升企业自身研发创新能力。鼓励服务型企业整合行业数据，为制造业企业产品优化升级提供数据支撑。

3.深化与上海自贸区融合发展。充分利用自贸区的保税展示以及金融政策等优势，实现各类进口智能制造装备的集中展示和实物演示，提供零部件仓储分拨、检验检测、技术培训等专业服务，创新融资租赁、财务结算等金融服务，支撑企业智能化升级所需的贸易需求。推动智能装备企业借助自贸区加快走向全球化步伐，将上海自贸区打造成为全球智能装备集散地。

（一）加强全面统筹

上海市经济和信息化委员会全面统筹推进行动计划的实施，建立健全沟通协调机制，会同相关部门协调解决智能制造推进过程中的矛盾和问题。制定年度工作计划，落实行动计划的各项工作任务，研究制定相关支持政策。

（二）加大政策扶持

统筹利用国家制造业高质量发展专项，以及本市工业互联网、技术改造、工业强基、装备首台（套）、软件首版次等专项政策，支持智能制造新模式应用、智能制造标准试验验证、智能装备首台（套）突破以及智能制造软件研发。制定发布系统解决方案供应商推荐目录，支持系统解决方案供应商做大做强；制定智能制造标杆工厂建设指南，引导重点企业建设行业标杆工厂。

（三）加快人才培育

加强与国际顶尖机构的人才培养合作，依托本市各项人才引进培育计划，加强国内外高端智能制造人才的引进和培养；鼓励产教深度融合，推动企业和高校联合建立智能制造应用型人才培养基地，试点推进产教融合型智能制造企业建设；继续依托智能制造、机器人等实训基地，开发相关培养项目，切实提升智能制造人才的能力水平和综合素质，培养造就一支跨学科、复合型、具有实际操作技能的智能制造人才队伍。

（四）推动智库建设

汇聚高校院所、生产制造、信息通信、人工智能、金融法律等各方面专家，组建跨行业、跨领域、跨专业、跨机构的智能制造专家库；依托第三方专业机构，研判智能制造发展趋势，支撑政府政策制定，为企业智能化转型提供咨询建议，助推上海智能制造高质量发展。

（五）塑造“上海智造”品牌

组织举办行业经验交流会，编写智能制造案例集；依托中国国际工业博览会，举办智能制造高峰论坛，使之成为工博会的品牌论坛，扩大上海智能制造的国内外影响力。通过系统解决方案输出，提升上海智能制造的辐射力，输出“上海智造”经验。