提升洁净生产环境，AAF为中国“芯”护航

2018-09-28

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近段时间，中美贸易之间的对弈牵动了很多行业的发展方向，其中微电子行业的相关问题最为突出。综合来看，我国的微电子行业还处于发展阶段，核心技术的缺失及制造工艺方面的不足在此次中美贸易摩擦中尤为明显。当然，实现微电子行业的稳定发展，除了拥有自主的技术研发，还包括很多基础硬件建设和环境保障等方面的因素。在这诸多环节中，微电子制造行业所必须的工业洁净厂房就显得十分重要。

“襁褓中的花朵”

从生产层面上看，微电子产品的制造工序复杂且繁多，其中许多关键工艺需要在恒温、恒湿、超洁净的无尘环境下进行。但其中部分大中型生产设备会释放出高浓度颗粒物和化学物质，这些物质都会引发生产的良品率下降及其他生产安全隐患。因此，微电子行业在生产过程中对工业洁净厂房的设计和洁净效果有非常高的要求和技术标准。

国际半导体设备以及材料协会SEMI发布的关于-AMC（化学气态分子污染物）分类标准

微电子行业的工业洁净厂房一般是相对密闭的空间，通常高级别洁净厂房的净化空调系统采用布置灵活的FFU送风方式，该方式解决了传统送风方式不能使用工艺布局和净化等级要求变化的问题。不过，微电子行业的工业洁净厂房设计和实施是一项综合技术，并非只是安装设备那么简单，只有充分了解微电子行业工业洁净厂房的设计特点，做到设计合理和选型适当，才能满足其对空气洁净效果的严苛标准和要求。

为“中国芯”护航

随着中国逐渐从“制造大国”向“智造大国”转型，国内涌现出一批知名的高科技制造企业，多个高科技项目也在全国多地落实并实施。近期在合肥投建的某12寸晶圆厂尤为吸引注意，该晶圆厂将重点研发19nm制程工艺生产DRAM（动态随机存取存储器），项目投产后，最大月产高达12.5万片规模，将有效地填补国内高端DRAM制造业的空白，在全球DRAM生产厂商中占得一席之地。除此之外，该项目的投产也将带动整个地区包括设备、材料、终端等多方面的综合发展。可以说，该晶圆厂的投产将加速合肥市产业转型升级的步伐。有消息表明，到2025年中国将投产新建约25条12寸晶圆项目，一举打破国外公司的垄断体系。

不过，该晶圆厂在厂房建设、设备采购过程中也遇到了一些困难。从技术角度看，在使用19nm制程工艺生产DRAM时，该工艺下黄光光刻区对AMCs气体极其敏感，工作区域中的洁净空气质量稍有偏差就会直接影响最终生产的良品率，所以，整个生产环节中都需要严格控制AMCs制程环境浓度值。因此，他们对工业洁净产房的空气净化解决方案提出了严格要求：需要按照不同区域的要求控制AMCs的指标，同时需要分子过滤器初始效率达到90%以上，最终效率达到70%，使用寿命大于一年。

AAF作为洁净空气解决方案的全球领导者，在近百年的历史中一直致力于为微电子行业开发高效节能的过滤解决方案，包括颗粒物和AMC (分子气态污染物) 过滤，全系列产品覆盖了粗中高效空气过滤器、化学过滤器、高效送风口、FFU/EFU、层流罩及DBS化学气体尾气排放处理等净化设备。应对这种高等级并复杂的洁净工艺的需求，AAF采用了FFU加载化学气体处理的解决方案，在FFU上方叠加两台化学过滤器，并提供了AMCs现场采样测试，对实际环境中的空气质量数据进行快速准确的提取和整理，并依此制定合理的解决方案。