悼念，ASML的伟大发明家去世

2024-10-26

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来源：内容编译自bits-chips，谢谢。

随着埃里克·卢普斯特拉的去世，ASML 和蔡司失去了一位伟大的系统架构师和发明家。这位来自弗里斯兰的工程师拥有 280 多项专利。“所有重要的 ASML 产品都带有埃里克的印记。”

多年来，Erik Loopstra 一直是 ASML 在费尔德霍芬工程部门的推动力之一。许多（前）同事都认为他是这家光刻公司机器开发的推动者，直到 2018 年他与蔡司公司合作，推动了那里的机电一体化能力。今年早些时候退休的 Martin van den Brink 经常与客户联系，连接市场和技术，而 Loopstra 则是公司内部的推动者之一。

整个高科技行业都知道 Loopstra 的名声，但对于外界来说，他长期以来一直保持着隐形。这非常适合他。“他与技术专家相处得很融洽，”近年来在蔡司与 Loopstra 关系密切的 Wilbert Kohler 说道。“通常，与他同级别的人不再有这种关系，因为他们在‘高高在上’太久后，在某个时候失去了联系。”据 Kohler 称，Loopstra 就是一个典型的例子，他虽然不断升迁，但仍然非常平易近人，这有助于找到好的解决方案。“因为归根结底，一切都取决于团队合作。”

当他被推到聚光灯下时，卢普斯特拉会感到明显不自在。比如在 2018 年欧洲发明家奖大众奖提名的宣传之旅中，他首次引起了公众的注意。他悠闲地忍受着这些时刻。“我们开玩笑说，超模的生活比工程师的生活困难得多，”与他一起获奖的瓦迪姆·巴尼内说。“我们没有意识到拍几张好照片和录制一段视频要花多少时间。”通过与伴侣一起进行的宣传之旅，巴尼内说，他还从另一面了解了卢普斯特拉，“一个体贴的丈夫”。

严肃认真

“埃里克是一位杰出的系统工程师，为 ASML 的许多关键技术做出了巨大贡献，”ASML 的一份新闻稿写道，该公司很少宣布员工退休或去世的消息。技术主管 Jos Benschop 表示：“很少有人像埃里克一样为 ASML 的成功做出了如此大的贡献。他的好奇心、干劲以及将洞察力转化为实际突破的能力使他成为我们有史以来最优秀的机器制造商之一。他是我们许多人的灵感来源，我们将非常想念他。”

和 Van den Brink 一样，Loopstra 也是 ASML 务实开发文化的代表。他的办公桌上放着一棵 Efteling 游乐园的童话树的微缩模型。每当项目充满梦想和希望，或者讨论中人们无法充分证实自己的观点时，他就会指着它。“Erik 总是能非常详细地指出这一点，”一位接受采访的人说。“如果你对某件事不确定，或者无法很好地证实它，他就会非常挑衅。”

许多人提到他曾说过的名言，例如“帮助只有在有用时才是帮助”和“人多力量大”。他的“今天能让别人做的事情，不要拖到明天”有点像 ASML 的格言。

“Erik 是一位才华横溢的技术人员，拥有极强的洞察力和创造力，”Hans Sluiters 说道。作为工程公司 CCM 的一名员工，Sluiters 在 20 世纪 90 年代认识了 Loopstra。“除了 Van den Brink，他是唯一一个了解所有机器模块及其接口的人。他非常专注，从不忘记目标，那就是机器必须以大致正常的方式尽快送到客户手中。”关于 Loopstra 的挑战方式：“胆小鬼和自尊心受挫的人说他模仿了 Brink 的风格，但在我看来，事实并非如此；他直言不讳，令人生畏，但绝对真实。”

广泛的技术员

Erik Loopstra 出生于一个弗里斯兰家庭，在北荷兰省的一个小村庄长大。20 世纪 80 年代初，他毕业于代尔夫特 Dedde de Jong 教授的精细机械工程专业。随后，他先后在多德雷赫特和海尔伦的飞利浦公司工作，负责 LCD 显示器试验工厂的生产设备。在 Centurion 重组期间，Jan Timmer 切断了这条试验生产线，Loopstra 于 1991 年转入 ASML，成为一名设备工程师。

在 ASML，Loopstra 很快成长为一名技术全面的技术人员，他不仅精通控制工程，还精通光学。“他的学习能力令人惊叹，”与他一起在 EUV 光刻领域工作多年的 Vadim Banine 回忆道。“Erik 不是物理学家。起初，他在物理问题中使用了完全错误的单位，但两周后，他用自己学到的知识让一位专业物理学家取代了他。”

马丁·范登布林克对 Loopstra 的见解印象深刻。“例如，令我惊讶的是，他确切地知道自行车踏板的螺纹是什么以及为什么。”范登布林克向多达 30 名机械工程师问过同样的问题。“也问过最聪明的人。埃里克是唯一一个能告诉我的人。”

系统思想家

Loopstra 的学习能力令其他同事赞叹不已。他所做的每件事他都想一探究竟。这种特质，加上他的理论和实践天赋，使他成长为一名领先的系统架构师。“Erik 非常有干劲，擅长建立良好的系统架构，”同事 Hans Vermeulen 说。他受雇于飞利浦制造技术中心 (CFT)，在 EUV 早期与 Loopstra 合作设计了第一个 EUV alpha 演示工具的架构。“最初，他的工作有些随意，但也非常挑剔，注重细节。”

兼职教授 Vermeulen 在 2016 年的就职演讲中称 Loopstra 是他的榜样之一。“对他来说，没有什么挑战是无法克服的。他的思考和转换速度、广泛的系统知识、敏捷的放大和缩小能力以及创造力使他成为我的榜样，激励着我。”

Jan van Eijk 在代尔夫特 De Jong 的团队担任学生导师时认识了年轻的 Loopstra，他也主要将他视为系统思想家。“Erik 强烈坚持系统方法。他广泛参与工程和科学的各个方面。慢慢地，他设法让自己身边围绕着一些知道如何在不同领域做出正确解释的关键工程师。”

在 ASML 工作的早期，Loopstra 是 PAS 5500 团队的一员，他帮助将全新的模块化机器设计投入生产。凭借 PAS 5500，这家总部位于 Veldhoven 的公司在 1993 年真正登上了半导体行业版图。此后，Loopstra 参与了几乎所有重要的机器开发，包括 20 世纪 90 年代后半期 PAS 5500 向步进扫描系统的演变、千禧年后推出的带有两个晶圆台的 Twinscan、随后升级为浸没式以及引入 EUV。Banine说：“所有主要的 ASML 产品都带有 Erik 的印记。”

2018 年的 Erik Loopstra。这组照片来自为欧洲发明家奖大众奖提名而创作的宣传材料，他最终与 Vadim Banine 一起获得了该奖项

坚持不懈

20 世纪 90 年代末，飞利浦 CFT 仍在为 ASML 进行初步开发。除其他事项外，该公司还研究了 PAS 5500 的步进扫描原理。Loopstra 参与了 ASML 的这些项目。他逐渐发挥了领导作用，并与 Jan van Eijk 和 Ton Peijnenburg 密切合作。“连续几个月，我们每周都会与 Martin 和 Erik 讨论规格，”Van Eijk 回忆道。

作为一个说明性的例子，Van Eijk 提到了关于光罩台（用于移动与扫描晶圆台相对的重型掩模）最大加速度的讨论。“在第一台扫描仪中，我们实现了 30 m/s ² 。对于 Twinscan，我们 CFT 想要达到 50 m/s ² ，但 Erik 称这是胆小鬼的规格。那是胆小鬼的玩意儿。他想达到 80 m/s ² 。最后，第一代的速度仍为 50 m/s ² ，但 Erik 坚持不懈，现在，我们谈论的是 200 m/s ² 。”

借助 Twinscan，Loopstra 为平衡质量系统和长行程与短行程平台的激光干涉仪的开发做出了贡献。对于 EUV alpha 演示工具，平面电机和真空技术是主要挑战。对于High NA，则是极快的平台和大型扫描光学系统。此外，对于High NA，必须建立非常广泛的计量系统来测量皮米级的多层镜。作为开发领导者之一，Loopstra 帮助塑造了它。“我致力于未来，”他在 2009 年接受荷兰报纸《埃因霍温日报》采访时说道，“研究现在尚不存在但几年后可能会出现的机器。”

完全奉献

作为一个天生具有突破界限的动力的人，Loopstra 主要在新系统的概念阶段被使用。“作为一个有创造力的人，他在开发的后期就没那么有用了，”Van Eijk 说。“在那个时候，他想出更好替代方案的倾向妨碍了实现所选的解决方案。”

Loopstra 最受尊敬的是他在 EUV 方面的开创性工作。为此，他和 Vadim Banine 于 2018 年获得了欧洲发明家奖的大众奖。Banine 评论说：“Erik 全身心地投入到产品开发中。没有什么是无法解决的。他克服了所有困难。这是独创性、巨大动力、高度专注和全心投入的结合。”

回顾过去，Van Eijk 将 Twinscan 的开发视为 Loopstra 最重要的贡献。“对于 Twinscan，他努力推动实现具有 3D 平衡质量的晶圆台，”他澄清道。“这在开发的第一阶段是过度的，因为涉及的加速度相对较低。2D 解决方案更简单、更便宜。”但据 van Eijk 说，Loopstra 想要更多。“他推动了 3D 解决方案，并说‘如果事实证明我们不需要它，我们可以随时将其锁定在旋转中。’”锁定旋转的实验太难了，从未完成，但 3D 版本现在对 ASML 来说是不可或缺的。EUV 机器以机电一体化为基础，Erik 也为此做出了巨大贡献。”

Loopstra 也大力支持平面引擎的引入。在这里，先驱原则的选择再次显得不那么明显。Van Eijk：“在经历了一些阻力之后，ASML 才采纳并成功实施了这一概念。”

赢得尊重

为了帮助蔡司（有些人甚至在“帮助”一词上加了引号）实现高数值孔径 EUV 系统的革命，Loopstra 向德国人靠拢。最初，他在 ASML 工作，负责照亮掩模版的光学元件和将光罩投射到晶圆上的光学元件。转投蔡司后，他参与了奥伯科亨制造过程中测量和鉴定高数值孔径镜子的大型系统。

2018 年，Loopstra 永久移居德国，为蔡司提供了复杂机电控制系统方面的知识提升。由于他兴趣广泛，并且能够快速掌握光学等学科，因此这一举动“在我们最近向高数值孔径机器革命的背景下非常自然”，Martin van den Brink 说。

在蔡司，Loopstra 帮助开发了 ASML 合作伙伴所需的 EUV 和高 NA 光学器件的测量技术。“结合仿真，这让我们在最近几个月创下了完美的光刻记录：7 纳米线，定位精度为 0.5 纳米，”Van den Brink 指出。“Erik 在过去几年也为这一壮举做出了贡献。感觉他还在 ASML 工作，尽管他在蔡司工作。”

鲜为人知的是 Loopstra 在收购美国光刻公司 ASML 后的头十年中积极参与了 SVG Wilton 并入 ASML 的过程。在此过程中，他帮助 Wilton 的能力提升到了目前的水平：全面负责机器的顶端，包括光罩台。在圣地亚哥的 Cymer，Loopstra 参与了类似的开发。Van den Brink：“Erik 轻而易举地赢得了 Wilton、圣地亚哥和 Oberkochen 等新集团的尊重，充分说明了他无可争议的品质；他的推理往往非常令人信服。”

特殊混合

在奥伯科亨与 Loopstra 有过近距离接触的荷兰同事表示，他和 ASML 员工团队在公司引发了一场组织地震。“他是能够打破蔡司等级森严的壁垒并取得进展的杰出人物，”一位目击者说道。“这是一种文化冲击。他们不认为这种牛仔文化在公司是可能的，即使他们与 ASML 打了 30 年交道也是如此。他们严肃认真，不胡说八道，只管去做。”

德国人表示，他们的经历略有不同。当蔡司的机电一体化团队得知埃里克·卢普斯特拉将与其他来自费尔德霍芬的工程师一起前往奥伯科亨，采用“一家公司的方法”，并在蔡司-ASML 混合团队中合作“为最终客户提供最佳解决方案”时，德国工程师最初担心会被荷兰人收购。这些担忧很快就消失了。“埃里克赢得蔡司团队信任的速度真是太快了，”一位参与其中的工程师说。“正是他独特的领导力、幽默感和诚实，让他说服了我们，这种‘一家公司的方法’确实是一种很好的工作方式。他只花了不到两周的时间。”

据这位蔡司员工说，Loopstra 给团队带来了活力。在讨论可互换镜子时，德国工程师自然而然地将重点放在了风险和问题上。在多次令人沮丧的关于可互换镜子是否可行的会议之后，“可互换”一词被赋予了负面含义。“Erik 在与 Martin van den Brink 的 ASML-Zeiss 接口会议上解释了他的概念，但他称其不是‘可互换’，而是‘咔哒咔哒’镜子，以阐明更换镜子的速度有多快。从那时起，很明显，我们将开发可非常非常快速互换的镜子模块，”这位工程师回忆道。“Erik 将这个主题从负担变成了一个你可以从中获得乐趣的挑战。”

Loopstra 还引用了他在德国的标志性言论。为了在讨论中以开放的心态处理问题，他使用了“一切皆有可能，但你可能不喜欢后果”这句话，意思是“对新想法持开放态度，考虑后果，但不要让它们困扰你”。他的团队非常欣赏这一点，他们有一件印有这句话的 T 恤。据其中一位知情人士透露，Loopstra 团队成员第一次穿上这件黑色 T 恤是在一次界面会议上。“我感觉管理层中的一些人正在挠头，怀疑我们是不是走得太快了。”

教练

蔡司公司早就意识到，公司需要更多具备技术领导能力的工程师来开发复杂的机电一体化系统。据公司内部人士透露，Loopstra 看到了培养年轻系统工程师的机会，并抓住了这一机会。蔡司公司的管理层认识到他是一名优秀的教练。无论他在哪里工作，年轻工程师都会得到提拔。

“他们意识到与埃里克共事是一件非常愉快的事情，”一位亲身体验过此事的技术经理说道。“与他共事的人很快发现，作为一名工程师，单纯的技术能力并不足以给人留下深刻印象。你还必须诚实，并且是一个永远不会忘记目标的团队合作者。蔡司引入了积极的反馈系统，现在有更多工程师的思维方式和行为方式都归功于埃里克的指导。”

在他去世前几周，Loopstra 曾向 Van Eijk 夸耀过这件事，而 Van Eijk 曾是他的学生导师，他曾说他“不太会指导别人”。“Erik 告诉我他在蔡司公司担任有抱负的技术人员的教练，这让我很惊讶。过去，他更有干劲，没有耐心去指导别人的学习过程。”

活力

早在 2000 年，Loopstra 就因其杰出的技术贡献而获得认可。他被任命为首批两名 ASML 研究员之一。不到十年后，他成为该公司的首位高级研究员。2012 年，他获得了荷兰精密工程学会 (DSPE) 颁发的 Martin van den Brink 系统架构师奖。这是 DSPE 首次颁发该奖项，该活动几乎完全献给同名人物。Loopstra 本人并不在意。他不是一个喜欢出风头的人。2018 年，蔡司还在他入职后不久任命他为研究员，以表彰他的开创性成就。

从个人角度来说，Loopstra 与巴登-符腾堡州结下了不解之缘。他和妻子喜欢这里的风景，于是在“荒无人烟”的地方买了一座有 400 年历史的破旧农舍，里面有一个破旧的谷仓，距离奥伯科亨东部有半小时车程。这个个人项目很快在蔡司的同事中广为人知。“他和妻子开始重建丑陋的谷仓，并投入了大量精力进行翻修，”一位同事说。“看到他们两个的成就真是太棒了。Erik 为蔡司付出了 100% 以上的努力，在业余时间，他仍然有精力改造那栋老房子。他有这么多的精力真是令人难以置信。”

原文链接

https://bits-chips.nl/article/erik-loopstra-1957-2024-unrelenting-motor-of-asmls-machine-development/