发布时间：2010-10-08

　　 MEMS 技术的发展使得惯性技术领域正在经历一场深刻的变化。惯性传感器是利用物体的惯性性质来测量物体运动情况的一类传感器，包括加速度计和陀螺。人们早就利用它们进行轮船、飞机和航天器的导航，近些年来人们又把这项技术用于汽车的控制、自动驾驶和导弹的制导等领域。但是传统的惯性传感器由于体积大、重量重、成本高等原因，极大地限制了它们的应用。在这种背景下，以微电子机械系统为...