发布时间：2022-04-22

应用材料公司利用 Stensar™CVD取代旋涂镀膜以扩展二维极紫外光逻辑微缩 预览最广泛的三维环绕栅极晶体管技术产品组合，包括两种全新的IMS™系统 2022 年 4 月 21 日，加利福尼亚州圣克拉拉市——应用材料公司推出了旨在帮助客户 利用极紫外光（EUV）继续推进二维微缩的多项创新技术 ，并详细介绍了业内最广泛的下一代三维环绕栅极晶体管制造技术的产品组合。...

发布时间：2013-10-11

一、3D三维晶体管的概念 3D三维晶体管,从技术上讲，应该是三个门晶体管。传统的二维门由较薄的三维硅鳍(fin)所取代，硅鳍由硅基垂直伸出。门包围着硅鳍。硅鳍的三个面都由门包围控制，上面的顶部包围一个门，侧面各包围一个门，共包围三个门。在传统的二维晶体管中只有顶部一个门包围控制。英特尔对此作了十分简单的解释：“由于控制门的数量增加，晶体管处于‘开’状态时，通过的电流会尽可能多...