发布时间：2023-06-30

对于许多仍在使用旋转轮的离子注入设备，大颗粒粒子可能掉落在晶圆表面，这如同一个高速导弹与建筑物的墙壁碰撞。在先进中，晶圆必须经过15〜20道离子注入过程，粒子导致成品率损失的效应是累计性的，所以必须降低污染粒子在每一道离子注入过程中的增加量。 利用激光扫描整个晶圆表面，并使用光感测器收集、转换以及放大由粒子引起的散射，就可以到晶圆表面的粒子。一般情况下，最小尺寸粒...

发布时间：2023-06-30

对于许多仍在使用旋转轮的离子注入设备，大颗粒粒子可能掉落在晶圆表面，这如同一个高速导弹与建筑物的墙壁碰撞。在先进中，晶圆必须经过15〜20道离子注入过程，粒子导致成品率损失的效应是累计性的，所以必须降低污染粒子在每一道离子注入过程中的增加量。 利用激光扫描整个晶圆表面，并使用光感测器收集、转换以及放大由粒子引起的散射，就可以到晶圆表面的粒子。一般情况下，最小尺寸粒...

发布时间：2014-03-16

近几年来，随着社会的进步，中国经济的腾飞，经济发展和环境资源之间的矛盾日益尖锐，污染物排放和能源消耗的问题也日益严重。根据国外的一些经验， 节能减排 机制是根据市场机制来建立的。由于我国市场机制还不够完善，当前既要解决环境资源与经济之间的矛盾，又要推进经济发展，任务艰巨、情况复杂。在这种复杂的背景下，本文主要以建立长期有效的节能减排机制为出发点，制定电力节能的核心理论体系和技...

发布时间：2013-08-08

　近几年来，随着社会的进步，中国经济的腾飞，经济发展和环境资源之间的矛盾日益尖锐，污染物排放和能源消耗的问题也日益严重。根据国外的一些经验，节能减排机制是根据市场机制来建立的。由于我国市场机制还不够完善，当前既要解决环境资源与经济之间的矛盾，又要推进经济发展，任务艰巨、情况复杂。在这种复杂的背景下，本文主要以建立长期有效的节能减排机制为出发点，制定电力节能的核心理论体系和技...

发布时间：2011-04-28

1引言 　　高频开关通信电源系统是通信、电力、交通、金融等行业的主要供电设备，是集电路、磁路、控制及计算机技术于一体的高新技术产品。目前国内外许多大公司，包括英国Advance、华为、中兴、通力环等都有系列产品销售。但随着通信产业和电力电子技术的发展，电源技术也在不断地前进。本文对影响开关电源性能的几个关键技术进行了分析，在此基础上研制新型高可靠性、高效率、低污染开关电源...