发布时间：2023-03-08

对于现代愈发复杂的工艺检测，诸如半导体、电子封装及光学加工等产业中，由于表面微观轮廓结构的准确性决定着产品的功能和效能，所以不管是抛光表面还是粗糙表面的工件（诸如半导体硅片及器件、薄膜厚度、光学器件表面、其他材料分析及微表面研究），都需要测量断差高度、粗糙度、薄膜厚度及平整度、体积、线宽等。 同为微纳米级表面光学分析仪器，白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度...

发布时间：2023-03-06

激光干涉仪 激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统丈量位移的通用长度丈量工具，是校准数控机床、坐标测量机、测长机、电动滑台、线性模组及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器。一句话概括就是 激光干涉仪是用来检测设备运动精度的仪器 。 SJ6000激光干涉仪 主要参数： 稳频精度：±0.05ppm 测量精度：±0.5ppm 线性测量距离：（0～80）m ...

发布时间：2020-01-02

激光干涉仪和白光干涉仪虽然都同属于干涉仪这个大类，但是两者的区别可大了！ 激光干涉仪 激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理： (1) 从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）； (2) 两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同...

发布时间：2019-12-27

机床的精密性直接影响着加工产品的质量，可谓是制造业的精度源头。机床是一个复杂机械结构体，需要定期校准补偿保证精密性，传统的方法相对而言效率低且操作麻烦。 海克斯康旗下eTALON品牌将前沿的激光技术与专业的计量知识相结合，创造出高度紧凑、结构轻巧、用户友好、功能强大的校准补偿测量系统，为3-5 轴中小型机床制造商、用户提供了突破性的解决方案。 激光球杆干涉仪 ...

发布时间：2016-10-14

　　干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，最初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度...

发布时间：2014-10-24

随着航空航天、重型机械、发电设备、船舶工业的发展，对大尺寸测量的要求越来越高。一些精密配合的大型零部件，尺寸达到十几米甚至几十米，精度要求达到IT7以上。如何测量这些零部件长期以来一直是困扰计量工作者的技术难题。目前实际应用的测量手段仍以外径千分尺、内径测杆等传统测量工具为主，远远不能满足需求。清华大学曾研制出一套很好的对准方法，与激光干涉仪相结合，用于测量大尺寸可达到很高的精...

发布时间：2014-10-08

有关MCV-5000系列应用的几个实例 对于大型机床，停机的成本是很高的。美国Optodyne公司设计的太空激光测量系统MCV-5000可以将测量时间从原来的几天减少到几个小时。下面举几个案例来说明该系统在一台机床上来完成测量所需要的实际时间： 一、大型龙门机床X轴误差的测量 我们已经测量了一台大型龙门机床的直线位移误差、上下角偏以及左右角偏：在X轴总的行程是530英吋...

发布时间：2013-05-13

全球的竞争和质量标准的要求，对机床提出了更高的定位精度、更小的公差及更高的进给率。为了达到这些要求并生产出高品质高精度的零件，必须要测量机床的三维体积定位精度。 二十年前，机床的最大定位误差为丝杆的螺距误差及丝杆的热膨胀误差。但现在上述的大部份误差已被大幅度降低，机床的主要误差转而变成垂直度误差和直线度误差。为了达到高的机床三维空间定位精度，机床上所有的3个位移误差、6个直线...

发布时间：2013-04-17

随着航空航天、重型机械、发电设备、船舶工业的发展，对大尺寸测量的要求越来越高。一些精密配合的大型零部件，尺寸达到十几米甚至几十米，精度要求达到IT7以上。如何测量这些零部件长期以来一直是困扰计量工作者的技术难题。目前实际应用的测量手段仍以外径千分尺、内径测杆等传统测量工具为主，远远不能满足需求。清华大学曾研制出一套很好的对准方法，与激光干涉仪相结合，用于测量大尺寸可达到很高的精...

发布时间：2012-05-10

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，最初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很...