所谓,RF MEMS 开关,是一种是小型的微机械开关,功耗低,可以使用传统的 MEMS 制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关,其中触点打开或关闭以通过开关传导信号。在 RF MEMS 器件的情况下,开关的机械组件只有微米级尺寸。与电灯开关不同,在 RF MEMS 开关中传导的信号在射频范围内。
这是一种不同于机电射频开关和固态射频开关的技术。
固态开关使用半导体技术进行操作,例如硅或 PIN 二极管、FET(场效应晶体管)和混合技术(结合了 PINS 和 FET),并使用硅基基板构建。而 RF MEMS 开关则与不断改进的基于 RF-SOI(绝缘体上的硅)的开关竞争,后者是当今市场上的主导解决方案。
以上内容摘录自谈谈 RF MEMS。 真的讲的太清楚了。看了后发现原来那么深奥的技术,原来如此简答啊。
引用: freebsder 发表于 2021-8-17 20:25 有个朋友在大学里搞mems,天天仿真。
仿真什么样得内容?