微机电系统(MEMS)是当今技术领域最热点之一；它采用先进的半导体工艺，将具有信号处理功能的智能机械结构集成在一块芯片中。MEMS 装置具有与传统的传感器和执行器等相同的功能，但比后者要小得多，为使这种体积纤小、结构精巧的微机电器件能够精确、可靠地工作，以适应恶劣环境，MEMS 工程师在设计中普遍采用FEA 方法，借助软件对微机电系统的应力、变形、自振、热损失、流体压差与速度、电阻电导、电磁场干扰
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回复：ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用
我是新手，怎么样才可以下载看到他啊
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会下了，感谢楼主提供这么好的资料。
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好资料，非常感谢楼主共享！
Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用
非常感谢！
Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用
非常有用的好物啊~感谢大大
Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用
MEMS我很感兴趣，用ANSYS会不会太泛了一点。
Re: ANSYS 在微机电系统（MEMS）设计中的应用
感谢楼主分享。。。
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