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纳秒激光微加工系统
摘 要:介绍了自行设计的纳秒激光微加工系统的组成和结构，各个部分的功能作用和工作原理，以及基于DSP和FPGA的硬件电路设计。分析了脉冲重复率、激光能量以及二维运动平台速度等参数对加工效果的影响，优化改善了脉冲式激光与二维平台运动的配合。整个系统结构简单，控制方便，稳定可靠，实现了高效率高精度的微加工。[著者文摘]
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