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针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理，应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模，并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态，$% 加速度下的挠度，以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率，得到了最优的双梁结构，并在试验中得到验证，最终研制出了高水平的电容式加速度传感器。关键词：加速度传感器；有限元；计算机仿真；微机械
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