文档简介
标签：
MEMS
《Foundations of MEMS（第一版）》英文版
作者：Chan Liu
简介：此书为MEMS经典教材，是MEMS初学者的必读教材。文中介绍了MEMS（ Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统）的发展史，介绍了微制造技术（microfabrication），并回顾了机电相关的基础知识，然后详细深入的介绍了MEMS系统中每一个细节电路的知识。
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